多晶硅片各点间电阻率差异大,这是什么原因呢?

来源：学生作业帮编辑：灵鹊做题网作业帮分类：物理作业时间：2024/06/01 08:45:47

多晶硅片各点间电阻率差异大,这是什么原因呢?
硅片用MS203测试电阻率接近3.5左右,但是小方锭用RT1000测试电阻率最大值只有2.2左右.

从原理上讲,多晶硅片各点间电阻率有差异是正常的.
既然是多晶硅,说明其中有许多晶粒和晶界.由于晶粒的大小不统一,所以在不同的测量点范围内,包含的晶粒和晶界数量是不同的.又由于晶界的电阻率大于晶粒的电阻率,所以导致了“多晶硅片各点间电阻率差异大”.

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